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| EQP等離子體質量和能量分析儀 | ESPion?高級朗繆爾探針 | ? | |
| Hiden ?EQP是一臺結合質量和能量分析的儀器。用于分析 | ESPion ?Langmuir ?靜電等離子體探針適用于RF和DC等離子 | ||
| 等離子體中正、負離子、中性粒子以及自由基的種類和 | 體反應器，自動測量、在線顯示和存儲測量參數。ESPion | ||
| 能量分布。 | ? | 在被動射頻補償方面，在所有商業(yè)化探針 | |
| ●?刻蝕/沉積過程研究 | ●?磁控濺射沉積過程分析 | 中ESPion具有的屏蔽阻抗(4.25Mohm ?at ?13.56 ?MHz | |
| cf.100kohm)，也是速的脈沖等離子體探針。具有自 | |||
| ●?離子注入/激光燒蝕 | ●?殘余氣體分析/泄漏檢測 | ||
| 清洗循環(huán)功能，防止探針尖端污染。 | |||
| ●?脈沖等離子體研究 | ? | ||
| ? | ●?蝕刻/沉積/清潔等離子體 | ●?離子密度?(Ni & Gi) | |
| ●?粒子通量、方向、能量和原子狀態(tài) | |||
| ●?質量數：1～300、510、1000、2500amu | ●?脈沖等離子體操作 | ●?等離子體電勢 | |
| ●?1000eV能量選配；懸浮電位可選至10keV | ●?電子密度(Ne) | ●?Debye長度 | |
| ●?電子附著分析選配 | ? | ●?電子溫度(Te & EEDF) | ●?懸浮電位 |
?
| PSM等離子體質量和能量分析儀 | HPR 60分子束取樣質譜儀 | |
| PSM是一臺差式泵質譜儀（In-Line Plasma Analysers for | HPR ?60適用于常壓下的高速度、無碰撞的分子束分析， | |
| Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程 | 即常壓下的等離子體過程分析/表征 | |
| 中的二次離子和中性粒子。 | ? | ●?反應動力學 |
| ●?離子束蝕刻 | ●?等離子體沉積研究 | |
| ●?常壓等離子體診斷 | ||
| ●?離子植入/激光燒蝕 | ●?殘余氣體分析 | |
| ●?燃燒研究–火焰離子化分析 | ||
| ●?靈敏度高/極穩(wěn)定的3級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu | ||
| ●?催化研究 | ||
| ●?脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態(tài)范圍 | ||
| ●?CVD/MOCVD–金剛石生長研究 | ||
| ●?能量分析選件，標準±100eV（1000eV可選?） | ||
| ●?大氣輝光放電分析 | ||
| ●?具有可調諧的離子源，用于表觀勢能譜 | ||
| ●?集束分析 | ||
| ●?信號選通分辨率1μs， | ? | |
| ? | ●?閃脫附研究 | |
| ●?標準分析中性粒子、自由基，正，負離子分析 | ||
| ●?低、高能量分析選項，分析中性粒子、離子、自由基 | ||
| ●?Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選，高壓操作可選 | ||
| ●?20、100、1000 mbar取樣壓力選擇 | ||
