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UHV-TPD Workstation?超高真空TPD工作站

SIMS Workstation?二次離子質(zhì)譜工作站

Hiden UHV-TPD工作站是專為超高真空熱脫附研究而設(shè)

Hiden SIMS?工作站，綜合UHV/SIMS?設(shè)備，進(jìn)行高級(jí)的表

計(jì)的。

面分析。

●?帶有觀測(cè)窗和樣品加熱臺(tái)的真空室

●?各類型樣品的快速轉(zhuǎn)換

●?帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器的三級(jí)過濾四極質(zhì)譜儀

●?靜態(tài)、動(dòng)態(tài)SIMS

（Hiden 3F/PIC）

●?整體的離子源，用于RGA/SNMS

●?質(zhì)量數(shù)范圍：1～300、510、1000aum

●?表面修飾/光柵研究

●?快速質(zhì)譜數(shù)據(jù)采集：>500數(shù)據(jù)點(diǎn)/秒

●?SIMS?表面形態(tài)/成像

●?工作站含有操作軟件，可自動(dòng)控制樣品溫度

●?表面污染物分析

●?TPD常規(guī)分析，包括質(zhì)譜峰的積分和反褶積計(jì)算等

●?正、負(fù)離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀

●?樣品可加熱到1000℃

●?讀數(shù)電子槍（選配）用于絕緣體研究時(shí)的電荷中和

●?密閉、自動(dòng)裝樣器

●?快速樣品傳遞，樣品固定，負(fù)載鎖定的操縱器

●?智能操作軟件控制實(shí)驗(yàn)操作

●?4?軸：X,Y,Z,θ UHV?操縱器，以定位樣品

?

●?加上ESM LabVIEW SIMS成像程序，進(jìn)行SIMS元素成像

?

●?靜態(tài)SIMS光譜資料庫(kù)可用

SPACI-MS?空間分辨質(zhì)譜儀

Compact SIMS小型二次離子質(zhì)譜儀

SPACI-MS是一臺(tái)商業(yè)的空間分辨質(zhì)譜儀，可以

完備的二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜系統(tǒng)，一種簡(jiǎn)單而快

進(jìn)行徑向和軸向的物質(zhì)檢測(cè)和溫度分布繪圖，具有極高空

速的工具，用于分析樣品層狀結(jié)構(gòu)、表面污染和雜質(zhì)含量。

間和時(shí)間分辨率，可以排除溫度和氣流的干擾。16路進(jìn)氣

靈敏的正離子檢測(cè)，在全質(zhì)量數(shù)范圍內(nèi)提供同位素分辨率。

口，連接到hiden的質(zhì)譜上可以自動(dòng)、快速地繪制溫度和

離子槍的設(shè)計(jì)，可以提供納米級(jí)的深度分辨率和近表面分析。

氣體分布譜圖。

●?體積小巧

?

●?發(fā)動(dòng)機(jī)催化反應(yīng)

●?10個(gè)樣品裝載

●?尾氣排放

●?深度剖析

●?燃料電池研究

●?僅需單相電源（<10A）

●?非熱平衡等離子體反應(yīng)

●?正二次離子質(zhì)譜和二次中性粒子譜

●?定量分析反應(yīng)器內(nèi)的瞬態(tài)和分布

●?移動(dòng)車的設(shè)計(jì)

●?高時(shí)間分辨和小的擾動(dòng)

●?3D表征和成像

●?空間分辨：0.1mm

●?質(zhì)譜圖

●?軸向驅(qū)動(dòng)：0～300mm

●?同位素分析